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光学级CVD金刚石窗口

时间:2018-10-14 12:02:36 浏览:494次


光学级CVD金刚石窗口在高功率微波、高功率激光器、远红外光探测、X射线等领域都有重要应用。

我所利用自主研发的10kW2.45GHz微波等离子体化学气相沉积法设备制备2英寸的光学级CVD金刚石窗口直径50.8mm厚度0.2-1.2mm热导率>18W/cm·K,紫外、可见光波段透过率>65%,红外光波段透过率>70%。

 

 

1  CVD金刚石窗口实物图

 

2  MPCVD沉积设备

 

3 CVD金刚石窗口紫外可见光透过光谱图

 

4 CVD金刚石窗口红外透过光谱图