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光学级CVD金刚石
金刚石在从紫外到远红外的很长波长范围内有很高的光谱通过性能,加上金刚石优秀的机械、热学性质,使金刚石薄膜成为可在恶劣环境中使用的极好的光学窗口材料。
我所已经完全具备和掌握了制备光学级CVD金刚石膜的硬件条件和核心技术,并且利用直流等离子喷射技术使大面积光学级金刚石膜制备技术已经在1995年前后取得突破。光学级CVD金刚石膜主要用于军事方面,如高速导弹的头罩和机载红外热成象装置窗口。
我所正在研究开发的民用(或军民两用)目标包括 : 高功率CO2激光加工机窗口; 高功率微波窗口等等。
CO2激光加工机广泛用于切割、焊接和材料的表面改性和表面合金化等用途, 而目前使用的窗口材料( ZnSe)具有明显的热透镜效应, 且机械强度和硬度很低, 化学性质不稳定, 因此光学级CVD金刚石窗口可能在此领域有非常好的市场前景。
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