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CVD金刚石膜热沉片

时间:2018-10-18 16:02:08 浏览:926次

  CVD金刚石的一个重要性质是它具有极高的热导率,在室温条件下金刚石的热导率是铜的五倍。同时它本身又是极好的绝缘材料,因此可以应用金刚石膜制作高功率光电子元件的散热器材料。
  热学级CVD金刚石目前的主要应用是高功率半导体二极管激光器,二极管激光器阵列的热沉(散热片),GaN on diamond复合片和卫星扩热板。主要用于光通讯(光端机)和军事。目前高功率二极管激光器阵列的输出功率已经达到1千瓦以上, 不仅在军事, 将来在民用技术上肯定会有广泛用途(如用作激光加工)。
  我所利用直流等离子体喷射方法生产的CVD金刚石膜的热导率已经达到2000W/m.K,完全可以满足在军事和民用技术方面及某些特殊领域对散热的要求。


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