CVD金刚石涂层

  我所利用直流电弧法可在碳化硅、硅片和硬质合金等材料表面沉积金刚石薄膜。此涂层沉积在硬质合金刀具上，大幅度提高了刀具耐磨性；沉积在碳化硅密封环端面上，大大提高了机械密封的机械性能和摩擦性能，延长了机械密封的使用寿命；沉积在硅片上，可以用作GHz级的高频薄膜型SAW器件。