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CVD金刚石涂层

时间:2018-10-18 16:03:37 浏览:7003次

  我所利用直流电弧法可在碳化硅、硅片和硬质合金等材料表面沉积金刚石薄膜。此涂层沉积在硬质合金刀具上,大幅度提高了刀具耐磨性;沉积在碳化硅密封环端面上,大大提高了机械密封的机械性能和摩擦性能,延长了机械密封的使用寿命;沉积在硅片上,可以用作GHz级的高频薄膜型SAW器件。